[16p-K301-1~13] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

17:00 〜 17:15

[16p-K301-12] ダイヤモンドMOS電界効果トランジスタの4050時間連続動作

サハ ニロイ　チャンドラ¹、白土 智基¹、大石 敏之¹、江口 正徳²、〇嘉数 誠¹ (1.佐賀大院理工、2.佐賀大シンクロトロン)

キーワード：

ダイヤモンド、パワーデバイス

ダイヤモンドMOSFETを作製し、 4050時間の劣化の無いDC連続動作を確認した。