[16p-K301-1~13] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

14:15 〜 14:30

[16p-K301-2] n型4H-SiC上シリコンキャップアニールコンタクトに対する高温アニールの影響

〇福澤 尊仁¹、花房 宏明¹、東 清一郎¹ (1.広大先進理工)

キーワード：

シリコンカーバイド、オーミック電極、高温特性

シリコンキャップアニール(SiCA)を行った電極の熱的安定性を調査した。Al、Ni金属を堆積させたSiCA電極に対して、大気中にて300℃で加熱しながら測定し、100時間まで評価を行った。100時間経過後でもコンタクトの劣化が低く抑えられる結果となった。また、Mo金属を堆積させたSiCA電極に対して、Ar雰囲気中で600から1000℃で5分間加熱した後、室温での評価を行った。1000℃のアニール処理を経てもコンタクト抵抗率が悪化せず、高い安定性が得られた。