[16p-K301-1~13] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

15:45 〜 16:00

[16p-K301-7] 4H-SiCエピ層における全方位フォトルミネッセンススペクトルの膜厚依存性

〇牧野 隼宜¹、鈴木 健吾²、加藤 正史¹ (1.名工大院工、2.浜松ホトニクス株式会社)

キーワード：

外部量子効率、全方位フォトルミネッセンス