講演情報
[16p-K304-2]セラミック粒子の衝突による発光現象
〇松林 康仁1、伊藤 剛仁2、篠田 健太郎1、寺嶋 和夫2、明渡 純1 (1.産総研、2.東大)
キーワード：
エアロゾルデポジション、発光
エアロゾルデポジション法（AD法）はガス流により加速した微粒子を基板に衝突させることで、室温でセラミックの製膜を可能にする手法である。一方で、AD法製膜中に発光現象が報告されており、微粒子の破砕に伴う発光（フラクトエミッション）ではないかと示唆されている。本研究ではAD製膜中の製膜環境の解析及び発光現象の機構解明を目指し、分光測定による解析を行った。