[16p-K310-1~5] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎

14:00 〜 14:15

[16p-K310-3] サファイア (0001) 基板上における AlGaAs の分子線エピタキシャル成長と特性の成長膜厚依存性

〇(B)和島 颯汰^1,3、橋本 英李^2,3、佐藤 大樹⁴、西谷 智博⁴、石川 史太郎³ (1.北大工、2.北大情科院、3.北大量積セ、4.フォトエレクトロンソウル)

キーワード：

分子線エピタキシー、サファイア