[16p-K401-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

13:45 〜 14:00

[16p-K401-4] 光熱偏向分光法によるGaNの熱拡散率解析精度向上へ向けた裏面励起-表面プローブ測定配置の提案

〇澤田 昂希¹、田中 翔²、山迫 希²、野村 麻友²、今井 大地^1,2、宮嶋 考夫^1,2 (1.名城大理工、2.名城大院理工)

キーワード：

窒化ガリウム、熱拡散率、光熱偏向分光法