講演情報
[16p-K401-5]直接遷移型半導体自立結晶における時間分解フォトルミネッセンスの解釈
〇(B)田中 大地1、市川 修平2,3、佐野 昂志2、田畑 博史2、小島 一信2 (1.阪大工、2.阪大院工、3.阪大電顕センター)
キーワード：
フォトルミネッセンス、モンテカルロ・シミュレーション、ガリウムナイトライド
キャリア寿命は結晶中の不純物濃度やデバイスの効率を評価できるため、正確に測定することが求められる。時間分解フォトルミネッセンス(TRPL)はキャリア寿命を測定する技術として広く用いられる。しかし、この手法では自己吸収(SA)効果やフォトンリサイクリング(PR)効果は考慮されない。これらの効果を考慮してPLの過渡現象をシミュレーションした。SA 効果や PR 効果により TRPL 測定から見積もられるキャリア寿命は変化することが確認できた。