講演情報
[16p-K401-6]波長角度分解カソードルミネッセンス法による窒化ガリウム半導体の発光特性評価
〇宇佐美 翔太1、赤瀬 善太郎1、岩満 一功1、横川 俊哉1、藤倉 序章2、冨谷 茂隆1 (1.奈良先端大、2.住友化学株式会社)
キーワード：
波長角度分解カソードルミネッセンス、窒化ガリウム、エッチピット
窒化物半導体（GaN）は、広い波長域で高効率な発光が可能で、特にマイクロ/ナノLEDなど微細構造デバイスの開発が進展している。本研究では、波長角度分解カソードルミネッセンス法を用い、エッチングによるGaN結晶表面のピット形状と発光分布の関係を評価した。平坦部とピット側面で異なる発光特性が確認され、特定角度で指向性発光が顕著であった。これにより、微細構造の発光特性と表面形状の相関解析が可能となる。