講演情報
[16p-K401-8]サファイア基板上に有機金属気相成長させたBN薄膜の深紫外発光特性
〇嶋 紘平1、辻谷 陽仁1、秩父 重英1 (1.東北大多元研)
キーワード：
窒化ホウ素、有機金属気相成長、カソードルミネッセンス
sp2結合を有する二次元層状化合物である六方晶(h)BN(積層順AA’)は、間接遷移型半導体でありながら室温において禁制帯幅(約6 eV)に相当する波長215 nm付近の高効率励起子発光を呈するため、深紫外線発光材料として期待できる。sp2結合の多形である菱面体晶(r)BN(積層順ABC)およびBernal (b)BN(積層順AB)は、それぞれ室温において波長215 nmおよび207 nm付近の発光を呈するため興味深い。しかしながら、励起子発光を呈する高品位な気相成長BN薄膜の実現は、静大原らのハライド気相成長法(BCl3/NH3系)に限られている。本講演では、有機金属気相エピタキシャル(MOVPE)法によりsp2結合BN薄膜を成長させ、深紫外線発光特性を評価した結果を報告する。