講演情報
[16p-K501-17]斜入射型X線CT装置を用いた半導体アプリケーション
〇大垣 智巳1、Wenbing Yun2、Sylvia JY Lewis2、SH Lau2 (1.キヤノンMJ、2.Sigray Inc.)
キーワード:
X線CT、半導体アプリケーション、斜入射
実験室レベルの汎用直交型X線CT装置の観察視野と解像度は、X線検出器のピクセルサイズにより制限されます。例えば、典型的なX線検出器で、ピクセルサイズ2048×2048、ボクセルサイズ0.5umの場合、観察視野が1mm×1mmです。これまで、大型電子基板、ウェーハや二次電池パウチセルのように大きな観察視野を必要とするアプリケーションでは、ボクセルサイズを大きくして、測定する必要がありました。Sigray社は、特許化された独自機構の斜入射型X線CT装置を開発し、空間分解能0.5umを達成しました。本講演では、斜入射型X線CT装置の新技術の紹介と半導体アプリケーションの結果を示します。