講演情報

[16p-K503-3]SiC中のバナジウム欠陥とシリコン空孔を用いた温度・磁場同時計測

〇佐藤 真一郎1、村田 晃一2 (1.QST、2.電中研)

キーワード:

炭化ケイ素、バナジウム、フォトルミネセンス

炭化ケイ素(SiC)中の負に帯電したシリコン空孔(VSi-)は、ナノメートルスケールの空間分解能で磁場や温度を検出できる「量子センサー」としての応用が期待されているが、特に温度計測に関しては信号の検出が困難であり、課題が多い。本発表では、VSi-とバナジウムの発光強度の温度依存性が異なることを利用した簡便な温度計測手法を提案するとともに、温度・磁場同時計測について紹介する。