講演情報
[16p-K504-7]複合成膜手法により成膜された低屈折率Al2O3薄膜の構造と不均質の関係
〇(M2)鈴木 智晃1、室谷 裕志1、松平 学幸2 (1.東海大院工、2.(株)シンクロン)
キーワード：
光学薄膜、酸化アルミニウム
本研究室ではEB蒸着法とDCパルススパッタリング法を同一真空容器内に設置して同時に作動させる複合成膜手法を開発した. 先行研究において本手法を用いて, 低屈折率Al2O3光学薄膜の作成に成功したものの厚さ方向で屈折率の異なる不均質が発生した. 本研究室では低屈折率Al2O3光学薄膜における不均質と膜構造の関係について調査を行った.