講演情報
[16p-K506-14]円偏光フェムト秒レーザーパルスによる縞状表面周期構造の形成
〇松尾 繁樹1、藤本 健太郎1 (1.芝浦工大工)
キーワード：
円偏光、フェムト秒レーザー、レーザー誘起表面周期構造
レーザー誘起表面周期構造の研究において，直線偏光を用いると縞状の周期構造が，円偏光を用いるとドットからなる周期構造が形成されることが，一般に認識されている。われわれは，円偏光フェムト秒レーザーパルスを走査しながら照射することにより，シリコン基板表面に縞状の周期構造が形成される現象を見出した。縞の方向は走査方向に対して垂直であり，縞の周期はレーザーの波長とほぼ同じだった。