講演情報
[16p-K506-17]パルスレーザーアブレーションと慣性インパクターを用いたSi球状ナノ粒子の作製
〇谷口 光1、青木 珠緒2、吉田 岳人3、梅津 郁朗2 (1.甲南大自然、2.甲南大理工、3.阿南高専)
キーワード：
レーザーアブレーション、球状ナノ粒子
Siターゲットに対しPLAを行うと、粒径数100nmの球状粒子が放出される。我々は、この粒子をパイプとガスの流れを用いた方法で、基板上に堆積させ試料作製している。試料の平均粒径は流速とガス圧力に依存するストークス数により決定され、流速だけ変化させた場合での最小平均粒径は約200nmであった。本研究では、ガス圧力も変化させ、より小さな粒子の堆積を試みた結果。ガス圧力を減少させることで平均粒径100nmまでの試料作製に成功した。