講演情報
[16p-K506-3]パルス蓄積がレーザー誘起表面周期構造の形成過程に及ぼす影響
〇千種 晃平1、岡田 達也1、富田 卓朗1 (1.徳島大院創成)
キーワード：
超短パルスレーザー
走査型電子顕微鏡(SEM)を用いてフェムト秒レーザー照射によって形成されるレーザー誘起表面周期構造形成過程のその場観察を行った。Si基板、SiC基板に対して125パルス毎に照射を行い、形成された周期構造のSEM像に対して高速フーリエ変換、モーメント解析を行った。その結果、Siではパルス数の増加に比例して周期の増大が見られ、SiCではパルス数に関わらず一定の周期の構造が形成された。