[16p-K506-1~19] 3.6 レーザープロセシング

15:00 〜 15:15奨励賞エントリー

[16p-K506-8] 超短パルスレーザー照射によるFe/Cr/Ni薄膜の合金化

〇中川 功士¹、関 宏都¹、河野 太洋¹、高橋 孝²、遠藤 翼²、高林 圭祐^2,3、土屋 叡本²、山口 誠³、岡田 達也¹、小林 洋平²、富田 卓朗¹ (1.徳島大院創成、2.東大物性研、3.秋田大理工)

キーワード：

超短パルスレーザー、多元素合金、レーザー加工

パルス幅が短く、ピーク強度が高い超短パルスレーザーは、急熱急冷現象などの特異な加工を行うことが出来る。本研究では、サファイア基板上に蒸着したFe、Cr、Niに複数のパラメータにてレーザー照射を行ったところ、2元系合金の酸化物や、Cr_0.5Fe_0.5が生成できた可能性のある結果を得ることが出来た。