2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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2025年3月14日 (金)
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16:45 〜 17:00
奨励賞エントリー
[16p-K507-12]
Ar-GCIBスパッタリングによる有機高分子の分子損傷
〇(M1)水谷 優里
1
、藤井 麻樹子
2
、瀬木 利夫
1
、松尾 二郎
1
(1.京大院工、2.横浜国大院環情)
キーワード:
二次イオン質量分析、クラスターイオンビーム
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