講演情報

[16p-K507-12]Ar-GCIBスパッタリングによる有機高分子の分子損傷

〇(M1)水谷 優里1、藤井 麻樹子2、瀬木 利夫1、松尾 二郎1 (1.京大院工、2.横浜国大院環情)

キーワード:

二次イオン質量分析、クラスターイオンビーム