[16p-K507-1~14] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.4 イオンビーム一般のコードシェア

17:00 〜 17:15

[16p-K507-13] GCIBを用いたクライオエッチングにおける反応性ガス供給法依存性

〇(M1)伊藤 汰一¹、北中 晴也¹、竹内 雅耶¹、豊田 紀章¹ (1.兵庫県立大学工)

キーワード：

ガスクラスターイオンビーム、クライオエッチング