講演情報
[16p-K507-14]液体X-ray PEEM測定の高空間分解能化に向けたO2-GCIB照射による電子透過窓の応力制御
〇竹内 雅耶1、豊田 紀章1 (1.兵庫県立大工)
キーワード：
ガスクラスターイオンビーム、窒化シリコン、X線光電子顕微鏡
本研究では、X線光電子顕微鏡（X-ray PEEM）による液体のオペランド解析を目的に、光電子透過窓を有する液体セル用窒化シリコン（SiNx）メンブレンの応力制御技術を開発した。SiNxメンブレンには極薄膜であることや適度な引張応力が求められるが、従来の応力緩和方法では機械特性の低下が課題であった。本研究では、O2-GCIBを用いた低損傷照射により、そのSiNxメンブレンの耐圧性を保ちながら引張応力の制御を可能にする手法を検証する。