[16p-K507-1~14] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.4 イオンビーム一般のコードシェア

15:45 〜 16:00

[16p-K507-9] 重元素と軽元素の同時分析のための2.1 MeVプロトンビームを用いた窒化ハフニウム薄膜の窒素組成評価

〇大住 知暉¹、後藤 康仁¹ (1.京大院工)

キーワード：

窒化ハフニウム、窒素組成分析、非ラザフォード後方散乱法

窒化ハフニウム(HfN)薄膜の窒素組成を2.10 MeV H⁺を用いた非ラザフォード後方散乱法(n-RBS)により評価し、1.63 MeV H⁺による評価と比較した。どちらのエネルギーでも同様に窒素組成を評価できることが分かった。HfNに他の重元素を添加した場合、n-RBSと同時にPIXEを用いれば同時に窒素と重元素を分析できる。PIXEの感度向上のためには, H⁺のエネルギーは高いほうが好ましいため、窒素と重元素の同時分析のためには2.10 MeV H⁺を用いればよいことが考えられる。