講演情報
[16p-P01-4]深振動マグネトロンスパッタリングにおける放電・発光遅延時間計測を用いたガス密度分布診断法の検討
〇横山 英佐1、中川 悠幹1、小林 宏輝1、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英2、山本 宏晃2、塚本 恵三2、冨宅 喜代一3、大下 慶次郎4、美齊津 文典4 (1.東京工芸大工、2.㈱アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)
キーワード：
深振動マグネトロンスパッタリング、発光分光分析、ガス希薄化現象
数µsの非常に短いOn/Off電力パルス列によって構成される深振動マグネトロンスパッタリング（DOMS）は成膜速度を補償し優れたアークフリー特性を有するイオン化スパッタリング方式として期待されている。本研究では、異なる時間条件によってDOMSの制御パルスを設計し、生成したプラズマに対してOESによる時間発展計測を行った。投入電圧から発光までの時間差と動作圧力との関係からガス密度分布の検討を行った。