セッション詳細
[16p-P01-1~9]8.1 プラズマ生成・診断
2025年3月16日(日) 13:30 〜 15:30
P01 (森戸記念体育館)
[16p-P01-4]深振動マグネトロンスパッタリングにおける放電・発光遅延時間計測を用いたガス密度分布診断法の検討
〇横山 英佐1、中川 悠幹1、小林 宏輝1、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英2、山本 宏晃2、塚本 恵三2、冨宅 喜代一3、大下 慶次郎4、美齊津 文典4 (1.東京工芸大工、2.㈱アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)
[16p-P01-5]深振動マグネトロンスパッタリングの成膜領域における飛行時間質量分析法を用いた多成分同時検出エネルギー分布計測
〇小林 宏輝1、中川 悠幹1、横山 英佐1、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英2、山本 宏晃2、塚本 恵三2、冨宅 喜代一3、大下 慶次郎4、美齊津 文典4 (1.東京工芸大工、2.(株)アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)
[16p-P01-8]二周波重畳容量結合型プラズマの電極への正パルス電圧印加が高アスペクト比ホール底部の電荷蓄積に与える影響
〇(M1)菊池 拓哉1、赤塚 勇大1、鈴木 陽香1、森山 誠2、田村 晃汰2、久保井 宗一2、飯野 大輝2、福水 裕之2、栗原 一彰2、豊田 浩孝1 (1.名大工、2.キオクシア)
[16p-P01-9]ミニマルファブを活用したハイブリッドpMOSFET製造工程におけるマイクロ波励起水蒸気プラズマアッシングプロセスの組み込み評価
〇谷口 博紀1、石島 達夫1、田中 康規1、中野 祐介1 (1.金沢大工)