講演情報
[16p-P01-5]深振動マグネトロンスパッタリングの成膜領域における飛行時間質量分析法を用いた多成分同時検出エネルギー分布計測
〇小林 宏輝1、中川 悠幹1、横山 英佐1、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英2、山本 宏晃2、塚本 恵三2、冨宅 喜代一3、大下 慶次郎4、美齊津 文典4 (1.東京工芸大工、2.(株)アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)
キーワード：
飛行時間質量分析法、マグネトロンスパッタリング
現在、DOMS研究の対象は成膜特性に集中しており、DOMSプラズマ過程の詳細に関する検討はこれからである。本研究では、飛行時間型質量分析法（TOF-MS）で測定されるDOMSの生成イオン粒子に対し多成分同時検出エネルギー分布計測を行った。結果として、時間発展におけるイオン強度ピーク時では、10 eV以下の低エネルギー成分の他に、10 eV 以上の高エネルギー成分が観測された。詳しい結果や考察については、当日議論する予定である。