講演情報
[16p-P01-6]低温プラズマから供給された水素原子の基材表面分布
〇南谷 将平1、竹田 圭吾1、平松 美根男1 (1.名城大理工)
キーワード：
プラズマ、表面反応、水素
低温プラズマの生成をはじめ、基材表面で誘起されるエッチングや膜堆積などのプラズマプロセス反応を基礎から理解し、得られた知見を活用することは本分野の技術開発に必須である。本研究では、プラズマ内のラジカルの基材上における表面反応に着目し、基材表面近傍におけるラジカル密度分布（水素原子）の実計測をもとにした、その定量的な分析をはじめ、シミュレーションによる基材表面上のラジカル密度分布の検証を行った。