講演情報
[16p-P01-7]プラズマ空間分布再構築における電極間方向の高分解能化
〇泉 涼太1、鈴木 陽香1,2、豊田 浩孝1,2,3 (1.名大工、2.名大低温プラズマ、3.核融合研)
キーワード：
プラズマ、3次元再構成
近年、半導体製造での歩留まり改善に向けてプロセスプラズマの面内均一性のさらなる向上が要求されている。我々は、プラズマ構造モニタリングの導入が重要であると考え、非接触計測でプラズマ発光の空間構造を評価する手法として、トモグラフィ手法を基にした3次元空間分布を再構築する手法の開発を行ってきた。本研究では、電極間のより詳細な発光分布の取得を試みたので報告する。