[16p-P01-1~9] 8.1 プラズマ生成・診断

[16p-P01-9] ミニマルファブを活用したハイブリッドpMOSFET製造工程におけるマイクロ波励起水蒸気プラズマアッシングプロセスの組み込み評価

〇谷口 博紀¹、石島 達夫¹、田中 康規¹、中野 祐介¹ (1.金沢大工)

キーワード：

プラズマ、水蒸気プラズマアッシング