[16p-P02-1~7] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[16p-P02-2] 質量分析法によるC_XH_Y+Arプラズマ中における炭化水素解離過程の解析

〇小野 晋次郎¹、恵利 眞人¹、奥村 賢直¹、鎌滝 晋礼¹、古閑 一憲¹、白谷 正治¹ (1.九大シス情)

キーワード：

プラズマCVD、質量分析、クメン