2025年第72回応用物理学会春季学術講演会

2025年第72回応用物理学会春季学術講演会

セッション詳細

一般セッション(ポスター講演)8 プラズマエレクトロニクス：8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[16p-P02-1~7]8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2025年3月16日(日) 13:30 〜 15:30

P02 (森戸記念体育館)

[16p-P02-1]ターゲット材料がHiPIMSプラズマ基礎特性に及ぼす影響の数値解析

〇阿部元暉¹、柿沼慧多¹、太田貴之²、小田昭紀¹ (1.千葉工大、2.名城大)

[16p-P02-2]質量分析法によるC_XH_Y+Arプラズマ中における炭化水素解離過程の解析

〇小野晋次郎¹、恵利眞人¹、奥村賢直¹、鎌滝晋礼¹、古閑一憲¹、白谷正治¹ (1.九大シス情)

[16p-P02-3]a-C:F薄膜の極低温合成と表面改質に関する研究

〇菅野拓海¹、北原広貴¹、篠塚郷貴²、寺澤章裕³、佐藤哲也¹ (1.山梨大工、2.山梨大・機器分析センター、3.山梨県産業技術センター)

[16p-P02-4]MoS₂合成の核形成低減のためのSi基板のフッ素終端率制御

〇(M1)鬼頭怜太郎¹、荻野明久¹ (1.静大院工)

英語発表

[16p-P02-5]Development of a Tesla Coil-Based Atmospheric Cold Plasma Device for Plastic Degradation

〇MarkNickole Helorentino Tabafa¹, James Roy Lesidan¹, Jumar Cadondon^1,2, Maria Cecilia Galvez¹, Edgar Vallar¹ (1.De La Salle University, 2.University of the Philippines)

[16p-P02-6]エッチング反応生成物の電子遷移誘起脱離

〇齋藤僚¹、小澤一貴¹、渡辺龍星¹、佐藤哲也¹ (1.山梨大工)

[16p-P02-7]PCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)におけるプラズマ部ガス流れおよびバイアス電圧が表面粗さに与える影響

〇田中智之¹、大久保衛¹、松坂俊一郎¹、金岡政彦¹、辻岡正憲¹ (1.ジェイテックコーポレーション)

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