講演情報
[16p-P02-6]エッチング反応生成物の電子遷移誘起脱離
〇齋藤 僚1、小澤 一貴1、渡辺 龍星1、佐藤 哲也1 (1.山梨大工)
キーワード：
エッチング、電子遷移誘起脱離
<!--StartFragment-->当研究室ではこれまで、エッチャント凝縮層上へ電子や希ガスの準安定励起種を照射を行うことにより基板をエッチングする「電子線誘起エッチング(EBI-CE)」に関する基礎的知見を蓄積している。本研究では、クライオ温度に冷却したAFS(Ammonium Hexafluorosilicate) の電子励起による分解・脱離実験を行った。またICPを用いたクライオエッチングにおける自己停止条件の下、電子照射効果を検証した。<!--EndFragment-->