講演情報
[16p-P02-7]PCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)におけるプラズマ部ガス流れおよびバイアス電圧が表面粗さに与える影響
〇田中 智之1、大久保 衛1、松坂 俊一郎1、金岡 政彦1、辻岡 正憲1 (1.ジェイテックコーポレーション)
キーワード：
プラズマエッチング、NC加工
PCVM技術は，nm精度で被加工物の低次形状を創成可能な技術である一方で，表面粗さの修正効率が悪く，加工前後で表面粗さを悪化させないことが肝要である．そこで本報では，PCVM加工による表面粗さ悪化の抑制を目的として，プラズマ部ガス流れおよびバイアス電圧が表面粗さに与える影響を調査し，PCVM加工に伴う表面粗さ悪化の抑制に成功したため，その結果について報告する．