[16p-P07-1~8] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[16p-P07-2] GeH₄–CVD によるSi(111)基板上SiGe層におけるGe組成の向上

〇今井 友貴¹、伊藤 耕平²、勝部 涼司²、宮本 聡²、鈴木 紹太³、南山 偉明³、ダムリン マルワン^3,4、宇佐美 徳隆^1,2,5 (1.名大未来機構、2.名大院工、3.東洋アルミ、4.阪大院工、5.名大未材研)

キーワード：

SiGe、CVD、太陽電池