講演情報
[16p-P09-2]熱フィラメント気相成長法におけるボロンドープ単結晶ダイヤモンドの基板温度依存性に関する実験的研究
〇川崎 昂輝1、嶋岡 毅紘1、重森 啓介2、山田 英明1 (1.産総研、2.阪大レーザー研)
キーワード：
ボロンドープダイヤモンド、熱フィラメント気相成長法、基板温度
近年、熱フィラメント気相成長法（HFCVD）を用いた単結晶ダイヤモンドの成膜研究が注目を集めている一方、基板温度がHFCVDによる結晶成長に与える影響を評価した研究は無かった。本研究では、ステージの熱絶縁を制御することで基板温度を変化させ、またその温度をダミーサンプルの熱電対による温度測定から評価した。得られたサンプルの成長速度、抵抗率やBやW濃度等の特性評価を実施した。講演ではその結果について報告する。