[16p-P09-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[16p-P09-4] 有機溶媒のバブリング供給により生成したマイクロ波励起プラズマの回転温度と振動温度の検討

〇(B)橋口 魁人^1,2、石島 達夫^1,2、中野 裕介^1,2、田中 康規^1,2 (1.金沢大理工、2.環境電力工学研)

キーワード：

カーボン系薄膜