講演情報
[16p-P09-6]圧力勾配型スパッタリング法がDLC膜の密度に与える影響
米澤 健1,3、〇小佐野 芳寿2,3、中谷 達行3 (1.ケニックス、2.三菱鉛筆、3.岡山理科大学)
キーワード：
ダイヤモンドライクカーボン薄膜、圧力勾配型スパッタ
本研究では、圧力勾配型スパッタ法をDLC膜の成膜に適用し、膜密度に与える影響を評価した。その結果、膜密度の向上効果が示され、ラマンスペクトル解析の結果からも膜質の向上が裏付けられた。さらに、成膜レートの向上も認められた。特殊な電源を必要とせずに、従来の成膜法を上回る膜特性と生産性が得られることが明らかとなった。DLC膜のさらなる応用拡大に繋がり、産業の効率化、持続可能社会の実現に寄与することが期待される。