講演情報

[16p-P09-7]スペクトルデータ駆動科学に基づくDLC膜の炭素構造解析と膜密度予測

〇小佐野 芳寿1,2、中谷 達行1 (1.岡山理大、2.三菱鉛筆)

キーワード:

ダイヤモンドライクカーボン薄膜、スペクトルデータ駆動科学、ラマン分光法

本研究では、Diamond-like Carbon(DLC)膜の炭素構造解析と特性予測へのスペクトルデータ駆動科学の適用を検討した。ラマンスペクトルの5ピーク分離解析の自動化や新たな可視化手法を組み合わせ、炭素構造と膜物性の関係をより効率よく把握できることが示された。また、部分的最小二乗回帰を用いた膜密度予測では、5ピーク分離解析を基にした変数選択法により予測精度をさらに向上できることが明らかになった。