講演情報
[16p-P11-4]アトムプローブトモグラフィーによる電界蒸発を利用した試料内部のSTM観察手法の開発
〇黒川 修1、植田 海人1 (1.京都大工)
キーワード：
走査トンネル顕微鏡、アトムプローブトモグラフィー法
我々は試料内部の原子配置を保った表面でのSTM観察を動機としてアトムプローブトモグラフィー法（APT法）における電界蒸発を利用した原子オーダーで平坦な試料表面の作製とそのSTM観察法を提案し研究を進めている．これまでに，Pt/W(111)ナノピラミッドを多探針として，先端の曲率半径が100 nm程度の針状形状であるAPT試料の先端部を位置合わせ無しでSTM観察することができることを報告している．今回は，APT装置とSTM装置間を真空を保ったまま試料搬送できるトランスファーベッセルを作製し，いくつかの試料の測定を行ったので報告する．