[16p-P11-1~13] 6.6 プローブ顕微鏡

[16p-P11-6] 走査型トンネル顕微鏡リソグラフィによるSi(111)表面の原子レベルパターン作製とその評価

〇佃 賢尚¹、小野田 穣²、山下 隼人¹、阿部 真之¹ (1.阪大基礎工、2.福教大)

キーワード：

プローブ顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡、シリコン