講演情報
[16p-P12-1]Ag拡散源の膜厚によるMg2Si-PDの受光感度への影響
〇飯野 有紀1、武井 日出人1、尾嶋 海人1、坂根 駿也1、鵜殿 治彦1 (1.茨城大工)
キーワード：
Mg2Si、SWIR、イメージセンサ
安価で豊富なMg2Siを用いた短波赤外（SWIR）域フォトダイオード（PD）の開発を行い、Ag膜厚（5nm、10nm、20nm）を制御して熱拡散後の残留Agの影響を評価しました。熱拡散により形成したMg2Si-PDはいずれの膜厚でも明瞭な整流性を示し、pn接合が適切に形成されていることを確認。また、分光感度測定でも全ての試料で受光感度を得ることができました。詳細な電気特性・光学特性評価は当日報告予定。