講演情報
[16p-P14-6]n-AlGaAs/GaAs/AlGaAs２重ヘテロ接合のショットキーゲート電圧よる光応答制御
〇川津 琢也1 (1.物材機構)
キーワード：
ショットキー光電流
ショットキー障壁光検出器は、半導体と金属薄膜により構成されており、界面の整流ポテンシャルにより光起電流が生じる。検出効率向上のため、裏面照射や金属ゲートの超薄膜化、光共振器の利用、ショットキー障壁の２重化など様々な工夫が施されている。また、ショットキーゲート光照射によって引き起こされる起電流が、局所光照射により大きく増強されることも示されている。本研究では、ショットキーゲート光照射と局所光照射の２つの光照射に対する起電流が、ショットキーゲート電圧によって制御できることを示す。