[16p-Y1311-1~15] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

15:30 〜 15:45奨励賞エントリー

[16p-Y1311-10] ミストCVD 法による岩塩構造MgZnO 多重量子井戸の製作と井戸層薄層化による量子効果の観測

〇愛智 宏行¹、小川 広太郎¹、三富 俊希¹、高橋 風貴¹、田中 恭輔¹、山口 智広¹、本田 徹¹、尾沼 猛儀¹ (1.工学院大)

キーワード：

酸化マグネシウム亜鉛、ミスト化学気相堆積、量子井戸

本講演では、ミストCVD法により製作した岩塩構造MgZnO/MgO多重量子井戸（MQW）において、井戸層の薄層化に伴う量子効果の観測について報告する。XRD測定によりサテライトピークを観測し、周期構造の形成を確認した。また、室温におけるカソードルミネッセンス測定から、井戸層の薄層化に伴う発光波長の短波長化を観測し、量子効果の発現を実証した。