[16p-Y1311-1~15] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

16:00 〜 16:15奨励賞エントリー

[16p-Y1311-11] サファイア基板上岩塩構造 MgZnO 薄膜成長における徐冷の効果

〇木村 航介¹、嶋 紘平²、松尾 浩一³、内田 浩二³、大野 篤史³、秩父 重英²、金子 健太郎⁴ (1.立命館大理工、2.東北大多元研、3.岩崎電気(株）、4.立命館大半導体応用研究センター)

キーワード：

岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛、深紫外線、ミストCVD