講演情報

[17a-K103-10]NeによりRFスパッタ成膜したInSb薄膜のRTA結晶化に与えるSiO2キャップ膜の影響

〇奥 翔太1、比嘉 辰志1、野口 隆1、梶原 隆司2、佐道 泰造2、岡田 竜弥1 (1.琉大工、2.九大)

キーワード:

InSb、Hall移動度、結晶化