2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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11:30 〜 11:45
[17a-K103-10]
NeによりRFスパッタ成膜したInSb薄膜のRTA結晶化に与えるSiO
2
キャップ膜の影響
〇奥 翔太
1
、比嘉 辰志
1
、野口 隆
1
、梶原 隆司
2
、佐道 泰造
2
、岡田 竜弥
1
(1.琉大工、2.九大)
キーワード:
InSb、Hall移動度、結晶化
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