[17a-K103-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

11:45 〜 12:00

[17a-K103-11] ポリイミド上にArスパッタ成膜したInSb薄膜のRTA結晶化

〇比嘉 辰志¹、奥 翔太¹、野口 隆¹、梶原 隆司²、佐道 泰造²、岡田 竜弥¹ (1.琉大工、2.九大)

キーワード：

InSb(インジウムアンチモン)、ポリイミド、結晶化