講演情報
[17a-K202-6]媒質効果の理論検討に基づくSi酸化膜中のSi輸送経路に関する考察
〇影島 博之1、秋山 亨2、白石 賢二3 (1.島根大、2.三重大、3.名古屋大)
キーワード：
Si酸化、Si輸送、第一原理計算
我々は、MOS界面を形成するSi酸化過程において、界面から酸化膜中へ輸送されるSi原子に注目。これが格子間SiOという構造を持って酸化膜中を酸化膜表面へ向けて拡散する経路を議論してきた。今回は、酸化膜の密度に対してどのように拡散経路のポテンシャルプロファイルが影響されるかを理論検討し、その結果からアモルファスであるSi酸化膜にも「膜質」という視点で捉える必要が示された。