講演情報
[17a-K209-5]ダイヤモンド放熱基板を用いたサーマルコンバータの開発
〇天谷 康孝1、加藤 宙光1、牧野 俊晴1、荒川 純也2、大川 顕次郎1、村松 秀和1、坂本 憲彦1、金子 晋久1 (1.産総研、2.ニッコーム)
キーワード：
電気標準、交流電圧/電流標準、ダイヤモンド放熱板
産総研では、感度向上のため、ダイヤモンドを放熱基板に用いたサーマルコンバータを開発している。放熱基板素材にダイヤモンド（2000 W/mK）を用いた際のサーマルコンバータの温度分布を有限要素法により求めた。ダイヤモンド基板では、その高い熱伝導率のため、抵抗膜で発生した熱流が効率的に熱電対の測温接点に向かって流れた。アルミナや窒化アルミ材の放熱基板を用いる場合よりも10倍以上の均質な温度分布が得られることが計算により示され、感度向上が期待される。