2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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セッション詳細

一般セッション(口頭講演)8 プラズマエレクトロニクス：8.1 プラズマ生成・診断

[17a-K303-1~11]8.1 プラズマ生成・診断

2025年3月17日(月) 9:00 〜 12:00
K303 (講義棟)
9:00 〜 9:15

[17a-K303-1]プラズマ中の線スペクトル検出・積分の自動化

〇菊地 航行1、山下 雄也1、叶 宇晨1、榎本 純1、赤塚 洋1 (1.科学大)
9:15 〜 9:30奨励賞エントリー

[17a-K303-2]Gibbsエントロピーへの非加法的拡張を適用した非平衡プラズマの電子温度の再検討

〇菊池 浩司1、赤塚 洋1 (1.科学大)
9:30 〜 9:45奨励賞エントリー

[17a-K303-3]レーザートムソン散乱を用いた大気圧空気中ストリーマ放電における電子エネルギー分布関数の時間変化の計測

〇(M2)睦 承源1、パン イーミン2、富田 健太郎2、小野 亮1 (1.東大新領域、2.北大工)
9:45 〜 10:00

[17a-K303-4]EUV光源用プラズマの電子温度・電子密度・発光強度・イオンエネルギー分布計測

〇富田 健太郎1、パン イーミン1、中山 珠樹1、篠田 樹1、白井 康司1 (1.北大院工)
10:00 〜 10:15奨励賞エントリー

[17a-K303-5]二周波容量結合型Ar/Krプラズマにおける質量およびエネルギー分解イオン角度分布の計測

〇(M1)内藤 真誉1、川村 隼也1、金 度漢1、藤谷 航大1、鈴木 陽香1、飯野 大輝2、福水 裕之2、栗原 一彰2、豊田 浩孝1 (1.名大、2.キオクシア)
10:15 〜 10:30奨励賞エントリー

[17a-K303-6]深振動マグネトロンスパッタリングの成膜領域において生成する中性Ti粒子のレーザー誘起蛍光を用いた速度分布解析

〇中川 悠幹1、小林 宏輝1、横山 英佐1、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英2、山本 宏晃2、塚本 恵三2、冨宅 喜代一3、大下 慶次郎4、美齊津 文典4 (1.東京工芸大工、2.(株)アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)
10:45 〜 11:00

[17a-K303-7]ECRプラズマから放出される水素原子生成量の吸収スペクトル解析による評価

〇井ノ口 雄矢1、三井 一高4、粕谷 俊郎1、高橋 秀典4、山田 賢志4、剣持 貴弘3、岩本 慎一4、田中 耕一4、和田 元2 (1.同志社大院理工、2.同志社大院研開、3.同志社大生命、4.島津製作所)
11:00 〜 11:15奨励賞エントリー

[17a-K303-8]窒素/水蒸気誘導結合プラズマにおけるアンモニアの生成レートとラジカル密度

〇(M2)喜多 恭平1、稲垣 慶修1、佐々木 浩一1 (1.北大工)
11:15 〜 11:30奨励賞エントリー

[17a-K303-9]水蒸気雰囲気における可視光検出型電界誘起コヒーレントアンチストークスラマン散乱

〇弘法堂 莉彩1、小池 健2、David Pai3、宗岡 均2、寺嶋 和夫2、伊藤 剛仁2 (1.東大工、2.東大新領域、3.CNRS LPP)
11:30 〜 11:45奨励賞エントリー

[17a-K303-10]マイクロ波液中プラズマ法によるCO2変換の高効率化

〇酒井 梨玖1,2、安藤 萌々愛1,2、関 蘇軍2、上塚 洋2,3、藤嶋 昭2、寺島 千晶1,2 (1.東理大創域理工、2.東理大総研、3.旭ダイヤモンド工業)
11:45 〜 12:00

[17a-K303-11]気水界面放電とラジカル生成に及ぼす接地電極配置の効果

〇松浦 寛人1、関 林1、朝田 良子1 (1.大阪公大)
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