講演情報
[17a-K303-5]二周波容量結合型Ar/Krプラズマにおける質量およびエネルギー分解イオン角度分布の計測
〇(M1)内藤 真誉1、川村 隼也1、金 度漢1、藤谷 航大1、鈴木 陽香1、飯野 大輝2、福水 裕之2、栗原 一彰2、豊田 浩孝1 (1.名大、2.キオクシア)
キーワード：
容量結合型プラズマ、角度分布、エッチング
基板に入射する高速粒子の入射角度分布は、エッチングにおける重要なパラメータである。これまでに我々は、マイクロチャネルプレートを用いたイメージング計測により、二周波容量結合型プラズマの高周波電極に入射する高速粒子の角度拡がりの評価手法を開発し、Time-of-flight法を用いたエネルギー分解イオン角度分布計測を報告してきた。これを応用しAr/Kr混合プラズマにおいて、質量およびエネルギー分解したイオン入射角度分布計測を行った。