講演情報
[17a-K303-6]深振動マグネトロンスパッタリングの成膜領域において生成する中性Ti粒子のレーザー誘起蛍光を用いた速度分布解析
〇中川 悠幹1、小林 宏輝1、横山 英佐1、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英2、山本 宏晃2、塚本 恵三2、冨宅 喜代一3、大下 慶次郎4、美齊津 文典4 (1.東京工芸大工、2.(株)アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)
キーワード：
レーザー誘起蛍光法、マグネトロンスパッタリング
本研究では、成膜領域における深振動マグネトロンスパッタリング（DOMS）プラズマで生成した中性粒子のレーザー誘起蛍光(LIF)およびその時間発展を観測した。LIFの時間発展から得られる速度分布・エネルギー分布は、マクスウェル分布によって最適化が可能である。これはDOMSの各パルス放電で生成した中性Ti粒子の成膜領域における粒子輸送に起因している。これらの結果より、本研究では新たな中性粒子の速度分布計測法の可能性を提案する。