[17a-K304-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

9:15 〜 9:30

[17a-K304-2] プラズマ共堆積によるナノポーラスシリコンのリチウムイオン電池負極応用

〇梶田 信¹、内田 儀一郎²、田中 宏彦³、田端 希帆³、山本 悠太³、大野 哲靖³ (1.東大、2.名城大、3.名大)

キーワード：

シリコン、リチウムイオン電池、プラズマ

リチウムイオン電池の高容量化のために，シリコン（Si）は重量当たりの理論容量がグラファイトの約10倍と大きく，資源も豊富で安価であることから，新しい負極材料の候補として研究が進められている。シリコンの電極の課題は，充放電時に約400%にも及ぶ体積変化に伴う電極の剥離の課題があり，ポーラス材料や薄膜技術の適用が検討されている。本研究では，ヘリウムプラズマを用いた多孔質シリコン薄膜形成手法を紹介する。