2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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一般セッション(口頭講演)8 プラズマエレクトロニクス：8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[17a-K304-1~10]8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2025年3月17日(月) 9:00 〜 12:00
K304 (講義棟)
9:00 〜 9:15

[17a-K304-1]金属と有機材料の接着接合における大気圧非平衡プラズマジェット処理の効果

〇竹中 弘祐1、小鑓 亮輔1、重森 俊祥1、都甲 将1、内田 儀一郎2、節原 裕一1 (1.阪大接合研、2.名城大理工)
9:15 〜 9:30

[17a-K304-2]プラズマ共堆積によるナノポーラスシリコンのリチウムイオン電池負極応用

〇梶田 信1、内田 儀一郎2、田中 宏彦3、田端 希帆3、山本 悠太3、大野 哲靖3 (1.東大、2.名城大、3.名大)
9:30 〜 9:45奨励賞エントリー

[17a-K304-3]高速フィルタードアーク蒸着装置における AlCrN 膜形成時の圧力変化

〇大根田 みらの1、渡辺 聖也1、佐野 絃貴1、越智 将伍1、佐野 春1、滝川 浩史1、杉田 博昭2、服部 貴大2、儀間 弘樹2 (1.豊橋技科大、2.オーエスジー（株）)
9:45 〜 10:00

[17a-K304-4]ポリカーボネート樹脂の耐紫外線性能向上のためのプラズマCVD法による酸化亜鉛製膜の検討

〇小島 洋治1 (1.広島県総研)
10:00 〜 10:30

[17a-K304-5][第46回優秀論文賞受賞記念講演] 成膜プロセスにおける大規模パターンでのカバレッジおよび膜質分布の予測

〇久保井 信行1、松谷 弘康1、辰巳 哲也1、小林 正治1、萩本 賢哉1、岩元 勇人1 (1.ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社)
10:45 〜 11:00

[17a-K304-6]計算化学による1-C4F8の電子物性と解離特性

〇林 俊雄、石川 健治、関根 誠、堀 勝
11:00 〜 11:15

[17a-K304-7]1-C5F10分子の電子物性と解離

〇林 俊雄、石川 健治、関根 誠、堀 勝
11:15 〜 11:30

[17a-K304-8]プラズマ誘起欠陥の発生と修復 ～SiO2/Si界面酸化と微細構造変化～

〇布村 正太1、堤 隆嘉2、堀 勝2 (1.産総研、2.名大)
11:30 〜 11:45

[17a-K304-9]酸素プラズマとギ酸蒸気処理によるPt薄膜のサイクルエッチング

〇三輪 和弘1、グエン ﾃｨ ﾄｩｲ ガー1、赤木 大二郎2、富澤 毅2、堀 勝1、石川 健治1 (1.名大低温プラズマ研、2.AGC（株）)
11:45 〜 12:00奨励賞エントリー

[17a-K304-10]低温下での塩素ラジカル照射による窒化チタン原子層エッチングにおけるin-situ表面反応解析

〇(M1)平井 俊也1、篠田 和典2、グエン ティ トゥイ ガー1、堤 隆嘉1、井上 健一1、石川 健治1 (1.名大、2.日立ハイテク)
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